Название: Электронная аппаратура. Основные материалы и технологии микро- и наноэлектроники
Автор: Игорь Никифоров
Издательство: Инфра-Инженерия
isbn: 978-5-9729-1230-8
isbn: 2023
Рассматриваются материалы и технологии, наиболее широко применяемые в микро- и наноэлектронике, изготовлении микросхем, микромодулей и блоков электронной аппаратуры. Для студентов электротехнических и радиотехнических специальностей и специалистов, занимающихся разработкой радиоэлектронной и силовой электронной аппаратуры.