Микродатчики и микросистемы. А. В. Гридчин

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Микродатчики и микросистемы

Автор: А. В. Гридчин

Издательство: Инфра-Инженерия

Жанр:

Серия:

isbn: 978-5-9729-1220-9

isbn: 2023

Аннотация:

Представлены конструкции и принципы работы основных типов микродатчиков и микросистем, разработанных и применяемых в настоящее время. Даны определения основным терминам, используемым в микросистемной технике. Приведен перечень метрологических параметров, характеризующих микросистему как измерительный прибор. Отдельным вопросом рассмотрено компьютерное моделирование и проектирование микросистем на основе программного пакета ANSYS. Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 «Приборостроение» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника».