Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды. А. Т. Каменихин

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды

Автор: А. Т. Каменихин

Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)

Жанр:

Серия:

isbn: 978-5-7038-5384-9

isbn: 2020

Аннотация:

Представлены материалы для практического изучения важнейших элементов вакуумного оборудования – средств откачки, измерения давления, а также процедуры измерения быстроты откачки технологического объема. Для студентов, обучающихся по специальностям «Электроника и наноэлектроника», «Наноинженерия» в МГТУ им. Н. Э. Баумана.