Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Юрий Цветков

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур

Автор: Юрий Цветков

Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)

Жанр:

Серия:

isbn: 978-5-7038-5369-6

isbn: 2020

Аннотация:

Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки. Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».