Основы технологии электронной компонентной базы. Е. Э. Бодров

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Основы технологии электронной компонентной базы

Автор: Е. Э. Бодров

Издательство: Инфра-Инженерия

Жанр: Учебная литература

Серия:

isbn: 978-5-9729-0846-2

isbn: 0

Аннотация:

Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».