Название: Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста. Учебное пособие для вузов
Автор: В. Ю. Васильев
Издательство: Издательство ЛАНЬ
Жанр:
Серия: Высшее образование (Лань)
Название: Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем
Издательство: Новосибирский государственный технический университет
Серия:
Название: Технология тонких плёнок для микро- и наноэлектроники
Название: Современное производство изделий микроэлектроники
Название: Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем
