Название: Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем
Автор: В. Ю. Васильев
Издательство: Новосибирский государственный технический университет
Жанр:
Серия:
Название: Технология тонких плёнок для микро- и наноэлектроники
Название: Современное производство изделий микроэлектроники
Название: Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем
