Название: Формирование функциональных слоев
Автор: Юрий Панфилов
Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
Жанр:
Серия:
Название: Элионные процессы и нанотехнологии
Издательство:
Жанр: Техническая литература
