Название: Технология производства электровакуумных приборов: термовакуумная обработка. Экспериментальное сопровождение технологического процесса
Автор: Сергей Бычков
Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
Жанр:
Серия:
Название: Физические основы микро- и нанотехнологий
Издательство:
Жанр: Учебная литература
