Название: Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем
Автор: Ю. А. Родионов
Издательство: Издательство ЛАНЬ
Жанр: Учебная литература
Серия:
Название: Производство гибридных интегральных схем
Издательство: Инфра-Инженерия
Название: Технологические процессы в микро- и наноэлектронике
Название: Основы микросенсорики