Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии. Игорь Житяев

Чтение книги онлайн.

СКАЧАТЬ процесса бокового эпитаксиального роста является достаточно узкий интервал значений мощности лазерного излучения, при котором наблюдается эпитаксиальный рост монокристаллического кремния без деградации слоя ПКК, лежащего на SiO₂. Это связано с тем, что после расплавления всего слоя ПКК условия теплоотвода в окнах SiO₂, где слой ПКК лежит на монокристаллической подложке кремния и на поверхности SiO₂, различны. Поэтому с увеличением мощности лазерного излучения слой ПКК, лежащего на поверхности SiO₂, деградирует с образованием отдельных капель кремния [3].

      2.3. Лазерная кристаллизация поликремниевых лент

      Известно, что при обычной технологии получения кремниевых пластин теряется до двух третей исходного материала. При выращивании кремниевых лент потери кремния значительно ниже, что удешевляет стоимость подложек. Технологический процесс получения кремниевых лент включает в себя химическое осаждение из паровой фазы кремния на временную подложку, после отделения полученного слоя, подложка может быть вновь использована. Этим методом получают кремниевые подложки толщиной до 100-150 мкм.

      Конец ознакомительного фрагмента.

      Текст предоставлен ООО «ЛитРес».

      Прочитайте эту книгу целиком, купив полную легальную версию на ЛитРес.

      Безопасно оплатить книгу можно банковской картой Visa, MasterCard, Maestro, со счета мобильного телефона, с платежного терминала, в салоне МТС или Связной, через PayPal, WebMoney, Яндекс.Деньги, QIWI Кошелек, бонусными картами или другим удобным Вам способом.

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 СКАЧАТЬ