Элионная теория в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы. Аскер Кушхов

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Элионная теория в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы

Автор: Аскер Кушхов

Издательство: МИСиС

Жанр: Техническая литература

Серия:

isbn:

isbn: 2012

Аннотация:

В учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров приповерхностных слоев материалов электронной техники ионным внедрением примесей. Приводятся результаты по особенностям распределения внедренной примеси в аморфных и кристаллических материалах и их теоретическое обоснование. Анализируются результаты по легированию приповерхностных слоев с использованием так называемых атомов отдачи при ионном внедрении.